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NTW260V-全自动晶圆真空覆膜机
4”-8”晶圆适用 可处理薄晶圆 晶圆料篮装卸料 贝努利晶圆搬运技术 真空覆膜技术 可选高温覆膜 双层隔离纸收卷能力 蓝膜、紫外线胶膜、光刻膜、背封膜等可选 晶圆智能料篮内测绘 非接触晶圆校正 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 |
4”-8”晶圆适用 可处理薄晶圆 晶圆料篮装卸料 贝努利晶圆搬运技术 真空覆膜技术 可选高温覆膜 双层隔离纸收卷能力 蓝膜、紫外线胶膜、光刻膜、背封膜等可选 晶圆智能料篮内测绘 非接触晶圆校正 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 |